Controlled growth of metastable Ta3N5 semiconducting films

Författare
Linköpings universitet Jui-Cheng Chang
(Jui-Che Chang., Funding: This work is supported by Vetenskapsrådet (grant numbers 2018-04198 and 2021-00357), Energimyndigheten (grant number 46658-1), and Stiftelsen Olle Engkvist Byggmästare (grant number 197-0210). The Swedish Government Strategic Research Area in Materials Science on Functional Materials at Linköping University (Faculty Grant SFO-Mat-LiU 2009-00971) is acknowledged for financial support., Härtill 5 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2024)
Genre
Avhandlingar, theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University 2024 Sverige, Linköping 52 sidor illustrationer 978-91-8075-494-1